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真空設備檢驗三要素

作者:AM8亚美来源:[AM8亚美公司]访问:736时间:2019-12-01

本文概述了影響真空設備極限真空度三個首要啟事,講解了真設備檢驗方法及措施.   真空--以其特殊的環境,作為-fl獨立技術己發展為近代邊沿學科之一。

  一切尖端科技發展幾乎都離不開真空技術,如原子能製造 、宇宙空間技術、微電子技術、納米技術、真空冶金等......涉及化學產業 、醫藥產業、製鹽、食品、製冷產業等等各個領域 、利用麵極為廣泛。

  一個真空設備 ,經過相當長時間的抽氣以後仍然達不到預期的真空度,可能是由於以下三個首要啟事引發的,真空丈量、真空獲得和真空檢漏。

  真空丈量是真空設備眼睛,丈量儀表使用好壞直接反映設備真空運行狀況。真空獲得是真空設備基礎,真空獲得設備性能好壞直接影響真空設備極限真空度 。真空檢漏是保證真空設備正常運行好壞首要手段 ,換句話說:真空檢漏是真空獲得的保證。

  以上三種身分中任何一個要素出題目時,真空設備真空獲得和維持都變得十分困難。要解決這個矛盾,首先判定出起主導感化的是什麽身分,找到題目的所在 ,從而采取相應的措施加以解決。

下麵淺談一下真空設備檢驗三要素的方案:

2 真空丈量

真空丈量是指用特定的儀器、對某一真空設備空間內真空度高低的量度。是以真空丈量儀表好壞直接影響設備正常運行。真空計的種類很多,大體上可分盡對真空計和相對真空計兩大類。凡通過測定物理參數直接計出氣體壓強的真空計稱為盡對真空計。通過丈量與壓強有關物理量,並進行計算得到壓強值的真空計稱為相對真空計。盡對真空計精度較高,一般作為標準用,在實際生產中,大都使用相對真空計。

在實際工作中,如何根據真空設備的要求選用合適的真空計,按以下幾個原則選用:

()所用真空計的丈量範圍應比被測壓力範圍寬—2數目級 。 (2)對真空計精確度,反複性、可靠性的要求應滿足工藝要求。 (3)應重視真空計是否與被測氣體種類有關 。 (4)應重視真空計是否有切換功能,讀數反應迅速與否 。 (5)應重視真空規管安裝位置和環境的要求。 (6)真空計價格是否適宜和該計是否易於維護等。

3 真空獲得真空泵就是真空獲得設備是用來產生和維持真空的裝配。利用真空泵把一特定容器的氣體抽走,使該容器中的壓強低於一個大氣壓,這就是真空獲得。

  目前真空獲得所涉及的壓強範圍已有十幾個數目極。由於淡薄氣體分子在不同壓強範圍內氣體分子活動特性不同,所以較寬量程壓力範圍內不可能用一種真空泵來獲得。

  由於不同類型真空泵的工作道理不同,而各有其特點和工作範圍。比如有些泵可直接從大氣開始工作,有些泵則必須借助前級泵才能工作

下麵列舉常用真空泵的利用特點:

()旋片真空泵:又稱機械真空泵屬於低真空泵類。它具有從大氣直接排氣的特性,既可以單獨使用,也可作為高真空泵或超高真空泵的前級泵。

 旋片泵的工作道理:是基於變容感化,用油來保持活動部件之間密封,靠機械的方法來密封的容積,容積周期性增大、縮小,從而達到排氣的目的。所以旋片泵極限真空度下降,噪聲大,卡死等現象,與油的質量和機械轉動有關。

(2)油擴散泵:油擴散泵是目前生產中最常用的高真空泵,被廣泛用於真空電子器件的排氣車、真空冶煉、真空熱處理、真空鍍膜與真空焊接等設備中。它的首要特點是在高真空下。對各種氣體都有很高的抽速,使用維護都很方便,無機械活動,不易損壞,但不足的地方不能單獨使用,必須有前級泵方可工作 。

 油擴散泵是一種蒸氣流泵,其工作道理利用蒸流的感化來將低密度氣體壓縮為較高密度使其達到機械泵能夠感化氣體壓強範圍被抽走。由於油分子量是空氣分子量5~20倍,油分子能比空氣大一個數目級,泵油在加熱情況形成每秒200m 定向活動的蒸氣流是油擴散泵關鍵。

由此看來,若要擴散泵正常工作: a.擴散泵在加熱時必須有足夠大的蒸氣壓,而在冷卻後要有足夠低的蒸氣壓。 b.一定要有前級泵才能工作,因隻有油蒸氣流密度遠大於空氣密度時才能形成高速氣流。 c.要有足夠的加熱功率,使油鍋內油迅速蒸發,通過噴嘴形成定向射流。 d.要有足夠的冷卻能力,使油蒸氣碰到泵壁時能很快地冷凝為液體返回油鍋,否則冷卻不夠產生反擴散,降低真空度。

(3)分子泵:渦輪分子泵是靠高速轉子攜代氣體分子獲得超高真空的一種機械式真空泵,工作壓力範圍為0-~0-8pa,它具有抽速較大 ,抽速範圍很寬的特點,分子泵適用於要求清潔的高真空和超高真空的設備上使用,但它不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵、由於分子泵屬於分子動能泵在大氣壓下啟動分子泵、分子密度過大、泵工作要發熱損壞。

4 真空檢漏真空檢漏是真空獲得保證 ,它是檢測真空係統的漏氣部位及其大小的過程。漏氣是影響真空獲得和真空維持的首要身分之一。

由於漏孔存在會抵消真空泵部分抽氣感化,延長抽氣時間,降低真空設備的極限真空。即使在動態情況下能夠達到較高真空度,待與真空抽氣係統連接閥門封閉,靜態內部壓力會迅速上升,嚴重影響器件的工作特性及壽命。真空係統漏氣是盡對的,不漏氣是相對的,對於動態真空係統,隻要其平衡壓力能夠達到所要求的真空度,這時候即使存在著漏孔,也可覺得該係統的漏率是容許的,動態真空係統的最大容許漏率Q一應滿足公式() Q max≤ /O PS 式中 P---係統工作壓力S---係統的有效抽速對於靜態真空係統,要求在一定時間內,其壓力維持在容許的壓力以,這時候即使存在著漏孔,同樣可以以為該係統的漏率是容許的 ,靜態真空係統最大容許漏率Q max應滿足公式Q max≤ (Pt---P)V/t (2) 式中P---係統工作壓力Pt—係統極限壓力V--- 係統容積t--時間檢漏方法的分類檢漏的方法很多,但各有特點和使用範圍,究竟選用哪種方法比較合適,要根據具體 情況而定,作為比較理想的檢漏方法應當滿足下述幾方麵的要求:

()檢漏靈敏度高,滿足少於被檢漏率二個數目級以上。 (2)反應時間短,則找出一個漏孔的時間就短。 (3)能定位 ,定量測得漏率大小 。 (4)能無損、無汙染的檢漏。 (5)檢漏範圍廣,從大漏到小漏都能檢。 (6)檢漏儀器應結構簡單,操縱維修方便。然而上述要求也是有矛盾的,要求一種方法同時滿足上述要求也是不可能的。一般靈敏度高檢漏儀結構比較複雜,使用和維修都比較困難。價格也相當貴。所以隻能針對不同檢漏對象來選擇合適的方法。以解決首要矛盾為原則。

5 結束語現在真空設備的利用領域愈來愈廣,如何處理各種複雜題目,多年來真空技術專家一向在思考,努力做這方麵的工作 。

真空設備出現故障,我們的經驗是不要急於下結論,不要急於拆卸調設備、應認真分析故障現象,先用真空儀表大概判定出設備狀況。然後對真空泵單獨測試和全部真空機組進行檢測,在確保真空獲得無題目情況下。進行真空檢漏 ,檢漏根據題目論述原則,選檢漏儀與檢漏方式。先進行靜態升壓試驗,判定漏氣和放氣。然後進行分段與整體檢漏,找出漏點,並確定其漏率大小。

根據上述真空檢驗方案 ,理論和實踐相結合,我們對一些真空冶金爐、真空熱處理爐 、真空鍍膜機、真空釺焊爐、和各種真空校準檢測裝配進行實踐,成功解決設備故障,取得良好成果 。

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